Лазерные технологии в электронном машиностроении
Малышев К.В., Шиганов И.Н.
Дано общее представление о процессах лазерной обработки по- лупроводников с целью рекристаллизации и отжига, описаны лазер- ные технологии модифицирования и изменения химического состава поверхностных слоев, напыления и осаждения тонких пленок, про- цессы лазерного легирования поверхности полупроводников. Также в пособии рассмотрены физико-химические и технологические процес- сы лазерной обработки пленок и деталей микроэлектроники, дана классификация методов лазерной обработки, рассмотрены методы подгонки параметров элементов микроэлектроники, размерной обра- ботки и маркировки тонких пленок. Для студентов 6-го курса, изучающих дисциплину «Лазерная микротехнология».;Гриф:Рекомендовано редсоветом МГТУ им. Н.Э. Баумана в качестве учебного пособия
Year:
2008
Publisher:
Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана
Language:
russian
Pages:
24
File:
PDF, 1.75 MB
IPFS:
,
russian, 2008