Технология интегральных микросхем: учебное пособие
Смирнов В. И.
Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах.
Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств», профиль «Конструирование и технология электронных средств».
Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств», профиль «Конструирование и технология электронных средств».
Year:
2023
Publisher:
ЭБС Лань
Language:
russian
ISBN 10:
5972912325
ISBN 13:
9785972912322
File:
PDF, 5.08 MB
IPFS:
,
russian, 2023